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芯片製造關鍵設備再突破!離子注入機實現全譜系產品國產化

2021-03-17 16:08 來源:新華視點
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中國電子科技集團有限公司17日對外公佈,該集團旗下裝備子集團攻克系列“卡脖子”技術,已成功實現離子注入機全譜系產品國產化,包括中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機,工藝段覆蓋至28nm,為我國芯片製造產業鏈補上重要一環,為全球芯片製造企業提供離子注入機一站式解決方案。


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